Атомно-силовой микроскоп (АСМ) наконечника зонда обычно используют твердые материалы (например, алмаза или Si3N4 материала), наконечник зонда может быть использован непосредственно на поверхности образца скрайбирования, таким образом, что форма наконечника в соответствии с требованиями от размера микроструктуры просканировать точного контроля наконечника силы, чтобы контролировать глубину подсчета очков, вы можете получить точную структуру формы с маленькими графическими требованиями. АФМ может также быть точным поточного измерения для того, чтобы обеспечить точность скрайбирования обрабатываемой детали.