С быстрым развитием и применением нанотехнологий становится все более распространенной, Микромашины, MEMS технологии и соответствующая точность микротокарная, микро-деталей и микро-механической технологии точность изготовления получила быстрое развитие. Для изготовления миниатюрных деталей и микро-механических, микро-механической обработки быстрого развития, в настоящее время достигло высокого уровня. EDM тонкая, тонкая обработка ультразвуковых колебаний, тонкие эксимер лазерной обработки, пластмассового литья и другие тонкие используются для обработки точность микронного масштаба микромеханических компонентов. Кроме того, развитие ряда конкретных новых технологий, таких как стерео литографии, технологии LIGA, процессы удаляемого слоя. И она разработала микро-механические и микро-технологии автоматических заводов сборки машин и тому подобное. Ниже приводится обзор последних разработок технологии прецизионных микро-обработки.