В последние годы довольно много прецизионное шлифование технического прогресса, особенно для изготовления технологии притирки БИС большого диаметра кремниевой подложки значительно улучшилось. Требования к качеству поверхности кремния подложки являются очень строгими, требует не только очень малую шероховатость поверхности, без царапин, хорошая плоскостность, и не требует никакого поверхностного слоя влияет. В настоящее время наша страна была в состоянии производить 8-дюймовый кремниевую подложку, мы разрабатываем и обрабатывать 10-дюймовый кремниевую подложку, но основаны на внедрении иностранных технологий и использования импортного оборудования. Насущная потребность независимых исследований и развития от 10 до 12 дюймов кремниевой подложки технологии производства и технологического оборудования.